




氦質(zhì)譜檢漏儀的主要配置
科儀創(chuàng)新產(chǎn)品主要有:薄膜制備設(shè)備,真空冶金設(shè)備,檢漏設(shè)備,真空系統(tǒng)等非標真空產(chǎn)品;系列分子泵,離子泵,鈦升華泵,深冷捕集泵等高真空獲得設(shè)備;在獲得氦氣信號值的基礎(chǔ)上,通過標準漏孔比對的方法就可以獲得漏孔對氦泄漏量。系列干式渦旋泵,干式爪泵,干式螺桿泵等無油真空獲得設(shè)備;超高真空環(huán)境模擬設(shè)備等高新技術(shù)產(chǎn)品。今天科儀創(chuàng)新的小編就和大家分享一下氦質(zhì)譜檢漏儀的主要配置有哪些,希望對您有所幫助!
1. 檢漏儀專用分子泵
2. 機械泵或者干泵
3. 定制檢漏儀專用電磁閥
4. 內(nèi)置標準漏口
5. 放大器
6. 采用質(zhì)譜專用模塊
以上是科儀創(chuàng)新為您一起分享的內(nèi)容,科儀創(chuàng)新專業(yè)生產(chǎn)氦檢漏,歡迎新老客戶蒞臨。
氦質(zhì)譜檢漏儀測量數(shù)據(jù)處理
漏率的溫度修正
標準漏孔漏率易受溫度變化影響,溫度對標準漏孔漏率的影響一般為3%/℃ ,所以如果實際環(huán)境溫度和標準漏孔證書中溫度不一致,需要將標準漏孔證書中漏率和標準漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值修正至同一環(huán)境溫度下來計算,并在測試結(jié)果中加以說明,修正方法如下:
方法一: 將標準漏孔證書中的漏率修正至實際環(huán)境溫度下,用標準漏孔證書中的漏率加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數(shù)計算值;
方法二: 將標準漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值修正至標準漏孔證書中環(huán)境溫度下,用標準漏孔漏率的氦質(zhì)譜檢漏儀示值平均值加上或減去溫度對標準漏孔漏率的影響系數(shù)計算值。
氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式有那些
氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏方式通常有兩種,一種為常規(guī)檢漏,另一種為逆擴散檢漏。
逆擴散檢漏是把被檢件接在分子泵出氣口一端,漏入的氦氣由分子泵出氣口逆著泵的排氣方向進入安裝在泵的進氣口端的質(zhì)譜管內(nèi)而被檢測。這一檢漏方式是基于分子泵對不同質(zhì)量的氣體具有不同壓縮比(氣體在分子泵出氣口壓強與進氣口壓強之比)即利用不同氣體的逆擴散程度不同程度而設(shè)計的。光無源器件有光纖連接器、光開關(guān)、光衰減器、光纖耦合器、波分復(fù)用器、光調(diào)制器、光濾波器、光隔離器、光環(huán)行器等。
氦質(zhì)譜檢漏儀逆擴散原理
逆擴散方式檢漏允許被檢件內(nèi)壓強較高,氦質(zhì)譜檢漏儀可達1000Pa(一般常規(guī)檢漏儀為0.05Pa以下),適合檢大型容器或有大漏的器件,也適合吸槍檢漏。逆擴散方式還具有質(zhì)譜管不易受污染,燈絲壽命長等優(yōu)點。
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氦質(zhì)譜檢漏儀的結(jié)構(gòu)和工作原理
氦質(zhì)譜檢漏儀是180°磁偏轉(zhuǎn)型的質(zhì)譜分析計,其基本原理是根據(jù)離子在磁場中運動時,不同質(zhì)荷比的離子具有不同的偏轉(zhuǎn)半徑來實現(xiàn)不同種類離子的分離。檢漏儀主要由質(zhì)譜室、真空系統(tǒng)及電氣控制部分組成。檢漏工作時先打開抽空閥前級泵對檢漏接口抽真空,當真空度P1 優(yōu)于200 Pa 時,打開入口閥1、2,關(guān)閉抽空閥,氦氣將逆著分子泵的抽氣方向進入質(zhì)譜室中被檢測出來,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 10 Pa·m3/s。如果測試結(jié)果有較大編差,可以考慮氦質(zhì)譜檢漏儀的自校功能,待完成后,再用標準漏孔進行測試。前級泵繼續(xù)對檢漏接口抽真空,當P1降至20 Pa 時,入口閥2 關(guān)閉,入口閥3 打開,分子泵的高抽速用于抽空試件,檢漏儀的反應(yīng)時間縮短,此時檢漏儀的較小可檢漏率為10- 12 Pa·m3/s。
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